商品ID：22497
商品概要
センサユニットの交換によりさまざまなガスを一台で検知します。小型化・軽量化を実現しLCD表示付きで新登場しました。
商品詳細
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特徴
- センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要。また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。
- 小型・軽量のコンパクト設計。
- NF3検知に対応。
- LCD表示でガス濃度、警報状態、エラーメッセージをわかりやすく表示。
- サンプリング流量の自動制御機能搭載。
- 設定と異なるセンサユニットが挿入された場合、異常をお知らせするセンサユニットの誤挿入防止機能付き。
- PS-7-MはModbus(RS-485/Ethernet)に対応 ※Ethernet通信はPoEに対応
- CE規格適合
- SEMI規格適合
仕様
| 型式 | PS-7 |
|---|---|
| 検知原理 | 定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式 |
| サンプリング方式 | ポンプ吸引式（0.5L/min 吸引流量 自動制御） |
| サンプリング配管※1 | テフロン 外径6内径4mm、配管距離は20m以内 |
| ガス濃度表示 | 液晶デジタル4桁表示（単位付き）20分割バーグラフ |
| 警 報 接 点 | ● ガス警報（1段及び2段） ・警報 ：赤LEDランプ点滅 ：液晶画面 1段目：ALARM1 2段目：ALARM1、ALARM2表示 ● 流量低下警報 ・目詰まり表示：液晶画面 フローサインが低速回転 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 FLOW表示及びフローサインが回転停止 ● センサトラブル警報／センサ誤挿入警報 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 SENS.表示 ● 熱分解炉断線警報※2 ・警報 ：黄LEDランプ点滅 ：液晶画面 CONV.表示 |
| 外部出力 | ・ガス濃度アナログ出力 DC4－20mA（電源とのマイナスと共通） ・ガス警報接点（1段及び2段） 1a無電圧接点/自動復帰 ・トラブル警報接点 （オープンコレクタ/自動復帰） |
| 適合ケーブル | 制御用シールドケーブル（Ø8～11mm）×2 3芯又は4芯 |
| 使用温度湿度範囲 | 0℃～40℃（但し、急激な変化のないこと）、 30～85％RH（但し、結露なきこと） |
| 使用電源 | DC24V±10％ |
| 消費電力 | 約7W |
| 寸法 | W62×H124×D143mm（オプションと突起部を除く） |
| 重量 | 約1.0kg |
| 取付方法 | 壁掛式 |
※1 テフロン推奨。但し、吸着性の強いガスの場合、使用状況により異なるため、別途お問い合わせ下さい。上記仕様は改良の為、予告なしに変更される場合があります。
※2 コンバータユニット付のみ。
対応ガス種（センサユニット）一覧
| ガス種 | フルスケール | 検知原理 | ユニット型式 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| SiH4 | 5/25ppm | 定電位電解式 | CDS-7 | ||
| PH3 | 1ppm | ||||
| B2H6 | 500ppb | ||||
| AsH3 | 250ppb | ||||
| H2Se | 250ppb | ||||
| Si2H6 | 25ppm | ||||
| SiH2Cl2 | 25ppm | ||||
| GeH4 | 1ppm | ||||
| NH3 | 100ppm | ||||
| HF | 10ppm | ||||
| PF3 | 10ppm | ||||
| HCl | 5/25ppm | ||||
| HBr | 10ppm | ||||
| F2 | 5ppm | ||||
| Cl2 | 5ppm | ||||
| ClF3 | 1ppm | ||||
| O3 | 1ppm | ||||
| CO | 250ppm | ||||
| H2S | 50ppm | ||||
| NF3 | 100ppm | 定電位電解式（コンバータユニット対応） | |||
| H2 | 500/1000ppm | 熱線型半導体式 | CHS-7 | ||
| O2 | 25vol% | 隔膜ガルバニ電池式 | COS-7 | ||
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