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中古品 【売却済み】【中古品】紫外光干渉式リアルタイム膜厚モニタ DM-1011-MN-UV
【売却済み】【中古品】紫外光干渉式リアルタイム膜厚モニタ DM-1011-MN-UV
商品ID：24674

【売却済み】【中古品】紫外光干渉式リアルタイム膜厚モニタ DM-1011-MN-UV

株式会社堀場エステック
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商品概要

SiO2/SiN/GaN系化合物等の、高い透明度の端末にベストな膜厚モニタです。
商品詳細
エッチングプロセス中にエッチングレート、厚、膜の反射強度変化よる境界面を検知します。
Xe-Hg紫外光照射により膜厚変化をモニタできます。
発光分析ではきわめて困難なエッチング深さのエンドポイントを実現できます。
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