パーティクルカウンターって何?測定キューブおすすめ気中パーティクルカウンター特集

パーティクルカウンター特集

パーティクルカウンターについて

 パーティクルカウンターって何??

 空気中や液体中等に存在する、微小なホコリ・塵・異物などをカウントする計測器です!

パーティクルカウンターは、空気中や液体中や油中に存在する微小なホコリ・塵・ダスト・異物などの粒子(=パーティクル)をカウントする計測器です。
パーティクルカウンターには、気中パーティクルカウンター、液中パーティクルカウンター、油中パーティクルカウンターの3種類がありますが、今回の特集では「気中パーティクルカウンター」についてご紹介します!

簡単に説明すると、気中パーティクルカウンターは空気の清浄度を測定するための機器です。
主な使用用途は、工業用クリーンルーム(ICR)やバイオクリーンルーム(BCR)の管理、生産環境の監視(清浄度や発塵チェック)等です。
半導体・液晶・精密機器・塗装・製薬・食品・化粧品・病院等を中心に、多様な業界で活用されています。

計測イメージ(左:手術室における清浄度測定 / 右:クリーンルームに使用されるエアフィルタのリーク測定)

気中パーティクルカウンターに関連する規格

 空気中の粒子がどの程度少なければ清浄度が高いと言えるの?

 清浄度の高さについては、国際統一規格である「ISO14644-1」で基準が定められています!

清浄度の高さ(=クラス)については、国際統一規格である「ISO14644-1」で基準が定められています。
清浄度クラスは9段階で定義付けされており、クラスの値が小さいほど清浄度が高い環境と言えます。
(以前より広く慣用されていた米国連邦規格「Fed.Std.209D」は2001年に廃止となりました。)

例えば、清浄度Class1の場合、0.1㎛の項目に上限濃度が設定されており、1㎥中における0.1㎛の粒子の数が10個未満である事が要求されます。
清浄度Class6の場合は、0.1㎛~5.0㎛までの項目に上限濃度が設定されており、全ての項目について、それぞれ上限濃度未満である事が要求されます。

空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度

清浄度クラス 上限濃度(個/㎥)
ISO-14644-1 Fed.Std.209D(参考) 測定粒径
0.1㎛ 0.2㎛ 0.3㎛ 0.5㎛ 1.0㎛ 5.0㎛
Class1 10
Class2 100 24 10
Class3 1 1000 237 102 35
Class4 10 10000 2370 1020 352 83
Class5 100 100000 23700 10200 3520 832
Class6 1000 1000000 237000 102000 35200 8320 293
Class7 10000 352000 83200 2930
Class8 100000 3520000 832000 29300
Class9 35200000 8320000 293000

清浄度クラスの目安

清浄度の高い環境を維持するためには、高額な設備費・運転費が必要となります。
そのため、業種や作業内容により求められる清浄度のクラスは異なります。
業種・分野別の目安は下表の通りです。

清浄度クラスの目安

業種・分野 求められる清浄度クラスの目安(ISO14644-1) 適用・対策
半導体 Class3~5 ハイレベルな塵埃管理
電子部品 製品の生産性向上と品質管理
光学機械 高精度製品への対応と品質管理
精密機器 微細塵埃の除去と品質管理
薬品 Class5~8 虫や異物の侵入対策
食品
印刷 Class6~8 製品の仕上がりの向上と品質管理
自動車部品 鉄の切粉、クズなど大粒子の対策
病院(手術室・治療室) 空気感染の防止、医師の保護

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