気中パーティクルカウンター特集 | 測定キューブ

パーティクルカウンターは、空気中や液体中や油中に存在する微小なホコリ・塵・ダスト・異物などの粒子（＝パーティクル）をカウントする計測器です。
パーティクルカウンターには、気中パーティクルカウンター、液中パーティクルカウンター、油中パーティクルカウンターの3種類がありますが、今回の特集では「気中パーティクルカウンター」についてご紹介します！

簡単に説明すると、気中パーティクルカウンターは空気の清浄度を測定するための機器です。
主な使用用途は、工業用クリーンルーム（ICR）やバイオクリーンルーム（BCR）の管理、生産環境の監視（清浄度や発塵チェック）等です。
半導体・液晶・精密機器・塗装・製薬・食品・化粧品・病院等を中心に、多様な業界で活用されています。

清浄度の高さ（＝クラス）については、国際統一規格である「ISO14644-1」で基準が定められています。
清浄度クラスは9段階で定義付けされており、クラスの値が小さいほど清浄度が高い環境と言えます。
（以前より広く慣用されていた米国連邦規格「Fed.Std.209D」は2001年に廃止となりました。）

例えば、清浄度Class1の場合、0.1㎛の項目に上限濃度が設定されており、1㎥中における0.1㎛の粒子の数が10個未満である事が要求されます。
清浄度Class6の場合は、0.1㎛～5.0㎛までの項目に上限濃度が設定されており、全ての項目について、それぞれ上限濃度未満である事が要求されます。

清浄度の高い環境を維持するためには、高額な設備費・運転費が必要となります。
そのため、業種や作業内容により求められる清浄度のクラスは異なります。
業種・分野別の目安は下表の通りです。