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ガス検知器の校正が不要でメンテナンス時間・コストを大幅に削減！
※本体とオプションからガスセンサーを選んでご注文ください。
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス |
|---|---|
| ガス採気方式 | 自動吸引式 |
| 検知原理 | 定電位電解式 |
| 検知範囲 | 仕様による |
| 分解能※1 | フルスケールの100分の1または200分の1表示 |
| 指示精度※2 | FS±10％以内 |
| 警報方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 |
| 応答時間 | 60秒以内（60％応答） |
| 使用温度範囲 | 0℃～+40℃ |
| 電源 | 単3形アルカリ乾電池4本、またはAC専用アダプタ（オプション） |
| 連続使用時間※3 | アルカリ乾電池使用時：12時間以上（無警報時、20℃の場合） |
| 外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
| 重量 | 約1.3kg |
| オプション※5 | AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通電台、ログデータ収集キット |
※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定条件による。
※3 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
※4 NF3センサユニット搭載時は8時間以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通電台はCE対象外になります。
| 型式 | 測定ガス | フルスケール | 警報設定値 | 単位 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1段目 | 2段目 | ||||
| XDS-7NH | アンモニア | 100 | 12 | 25 | ppm |
| XDS-7SH | シラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7DC | ジクロルシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7AH | アルシン | 250 | 25 | 50 | ppb |
| XDS-7PH | ホスフィン | 1 | 0.15 | 0.3 | ppm |
| XDS-7BH | ジボラン | 500 | 50 | 100 | ppb |
| XDS-7SE | セレン化水素 | 250 | 25 | 50 | ppb |
| XDS-7GH | ゲルマン | 1 | 0.1 | 0.2 | ppm |
| XDS-7CL | 塩素 | 5 | 0.25 | 0.5 | ppm |
| XDS-7CF | 三フッ化塩素 | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
| XDS-7HC | 塩化水素 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7HF | フッ化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
| XDS-7HB | 臭化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
| XDS-7NO | 一酸化窒素 | 100 | 12 | 25 | ppm |
| XDS-7HS | 硫化水素 | 50 | 5 | 10 | ppm |
| XDS-7CO | 一酸化炭素 | 250 | 12.5 | 25 | ppm |
| XDS-7DS | ジシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7F2 | フッ素 | 5 | 0.5 | 1 | ppm |
| XDS-7OZ | オゾン | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
| XDS-7SD | 二酸化硫黄 | 10 | 1 | 2 | ppm |
| XDS-7ND | 二酸化窒素 | 10 | 1 | 2 | ppm |
| XDS-7NF | 三フッ化窒素 | 100 | 5 | 10 | ppm |
半導体材料ガス検知器 XPS-7II | 計測機器購入するなら 測定キューブ