半導体材料ガス検知器 XPS-7II
販売価格(税抜)：
\247,000
/税込：\
271,700
商品ID：20990
商品概要
センサユニットを交換するだけで様々なガスを検知できる半導体材料ガス検知器です。
商品詳細
センサユニットを交換するだけで様々なガスを検知できる半導体材料ガス検知器です。
ガス検知器の校正が不要でメンテナンス時間・コストを大幅に削減！
※本体とオプションからガスセンサーを選んでご注文ください。
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特長
- ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。
- カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。
- NF3検知対応。NF3検知に対応したポータブルタイプ吸引式ガス検知器としては世界最小サイズ。
- 重さわずか1.3kgの小型・軽量タイプ。ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
- 液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示
- 乾電池・AC電源（オプション）の両方で動作可能
- 小型・軽量設計
- ガス濃度の変化に警報音が連動
- ロガー機能
構成品
ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚
仕様
【本体】
【センサー】
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス |
|---|---|
| ガス採気方式 | 自動吸引式 |
| 検知原理 | 定電位電解式 |
| 検知範囲 | 仕様による |
| 分解能※1 | フルスケールの100分の1または200分の1表示 |
| 指示精度※2 | FS±10％以内 |
| 警報方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 |
| 応答時間 | 60秒以内（60％応答） |
| 使用温度範囲 | 0℃～+40℃ |
| 電源 | 単3形アルカリ乾電池4本、またはAC専用アダプタ（オプション） |
| 連続使用時間※3 | アルカリ乾電池使用時：12時間以上（無警報時、20℃の場合） |
| 外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
| 重量 | 約1.3kg |
| オプション※5 | AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通電台、ログデータ収集キット |
※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定条件による。
※3 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
※4 NF3センサユニット搭載時は8時間以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通電台はCE対象外になります。
【センサー】
| 型式 | 測定ガス | フルスケール | 警報設定値 | 単位 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1段目 | 2段目 | ||||
| XDS-7NH | アンモニア | 100 | 12 | 25 | ppm |
| XDS-7SH | シラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7DC | ジクロルシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7AH | アルシン | 250 | 25 | 50 | ppb |
| XDS-7PH | ホスフィン | 1 | 0.15 | 0.3 | ppm |
| XDS-7BH | ジボラン | 500 | 50 | 100 | ppb |
| XDS-7SE | セレン化水素 | 250 | 25 | 50 | ppb |
| XDS-7GH | ゲルマン | 1 | 0.1 | 0.2 | ppm |
| XDS-7CL | 塩素 | 5 | 0.25 | 0.5 | ppm |
| XDS-7CF | 三フッ化塩素 | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
| XDS-7HC | 塩化水素 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7HF | フッ化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
| XDS-7HB | 臭化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
| XDS-7NO | 一酸化窒素 | 100 | 12 | 25 | ppm |
| XDS-7HS | 硫化水素 | 50 | 5 | 10 | ppm |
| XDS-7CO | 一酸化炭素 | 250 | 12.5 | 25 | ppm |
| XDS-7DS | ジシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
| XDS-7F2 | フッ素 | 5 | 0.5 | 1 | ppm |
| XDS-7OZ | オゾン | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
| XDS-7SD | 二酸化硫黄 | 10 | 1 | 2 | ppm |
| XDS-7ND | 二酸化窒素 | 10 | 1 | 2 | ppm |
| XDS-7NF | 三フッ化窒素 | 100 | 5 | 10 | ppm |
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