パーティクルカウンターって何?測定キューブおすすめ気中パーティクルカウンター特集
パーティクルカウンターについて
パーティクルカウンターって何??
空気中や液体中等に存在する、微小なホコリ・塵・異物などをカウントする計測器です!
パーティクルカウンターは、空気中や液体中や油中に存在する微小なホコリ・塵・ダスト・異物などの粒子(=パーティクル)をカウントする計測器です。
パーティクルカウンターには、気中パーティクルカウンター、液中パーティクルカウンター、油中パーティクルカウンターの3種類がありますが、今回の特集では「気中パーティクルカウンター」についてご紹介します!
簡単に説明すると、気中パーティクルカウンターは空気の清浄度を測定するための機器です。
主な使用用途は、工業用クリーンルーム(ICR)やバイオクリーンルーム(BCR)の管理、生産環境の監視(清浄度や発塵チェック)等です。
半導体・液晶・精密機器・塗装・製薬・食品・化粧品・病院等を中心に、多様な業界で活用されています。
計測イメージ(左:手術室における清浄度測定 / 右:クリーンルームに使用されるエアフィルタのリーク測定)
気中パーティクルカウンターに関連する規格
空気中の粒子がどの程度少なければ清浄度が高いと言えるの?
清浄度の高さについては、国際統一規格である「ISO14644-1」で基準が定められています!
清浄度の高さ(=クラス)については、国際統一規格である「ISO14644-1」で基準が定められています。
清浄度クラスは9段階で定義付けされており、クラスの値が小さいほど清浄度が高い環境と言えます。
(以前より広く慣用されていた米国連邦規格「Fed.Std.209D」は2001年に廃止となりました。)
例えば、清浄度Class1の場合、0.1?の項目に上限濃度が設定されており、1?中における0.1?の粒子の数が10個未満である事が要求されます。
清浄度Class6の場合は、0.1?~5.0?までの項目に上限濃度が設定されており、全ての項目について、それぞれ上限濃度未満である事が要求されます。
空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度
清浄度クラス | 上限濃度(個/?) | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ISO-14644-1 | Fed.Std.209D(参考) | 測定粒径 | |||||
0.1? | 0.2? | 0.3? | 0.5? | 1.0? | 5.0? | ||
Class1 | 10 | ||||||
Class2 | 100 | 24 | 10 | ||||
Class3 | 1 | 1000 | 237 | 102 | 35 | ||
Class4 | 10 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
Class5 | 100 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | |
Class6 | 1000 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
Class7 | 10000 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
Class8 | 100000 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
Class9 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
清浄度クラスの目安
清浄度の高い環境を維持するためには、高額な設備費・運転費が必要となります。
そのため、業種や作業内容により求められる清浄度のクラスは異なります。
業種・分野別の目安は下表の通りです。
業種・分野 | 求められる清浄度クラスの目安(ISO14644-1) | 適用・対策 |
---|---|---|
半導体 | Class3~5 | ハイレベルな塵埃管理 |
電子部品 | 製品の生産性向上と品質管理 | |
光学機械 | 高精度製品への対応と品質管理 | |
精密機器 | 微細塵埃の除去と品質管理 | |
薬品 | Class5~8 | 虫や異物の侵入対策 |
食品 | ||
印刷 | Class6~8 | 製品の仕上がりの向上と品質管理 |
自動車部品 | 鉄の切粉、クズなど大粒子の対策 | |
病院(手術室・治療室) | 空気感染の防止、医師の保護 |
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ハンドヘルドパーティクルカウンターP8シリーズ / P8-303
0.3μm以上の粒子径と個数を測定し、設定された3粒子を同時表示できます(3チャンネル)。幅広い業界に対応可能ですが、特にISO Class7~9の環境測定におすすめです。
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